概要

SH-CIMとは、製造ラインで導入されるCIMに対して、ホストから製造装置間の接続するシステムの仕様設計から現地試運転まで行い、システムをOEMで供給するサービスです。

• システム設計コンサルティング
  要件設計の段階から、ユーザーとの打合せからシステム設計をサポートします。
• 標準製品
  標準コンポーネントとシステムフレームワークを提供します。
• カスタマイズ
  上記製品をベースにお客様の仕様に合わせた制御ソフトと、最適なハード（PC、PLC、UPS、周辺I/F等）を選定し、合わせて納品します。
• 現地試運転
  上記、システムの現地での試運転作業もサポートします。

特長

• 半導体／液晶製造ラインに適応したシステムフレームワークと標準コンポーネント
• 標準コンポーネントによるSEMI規格への対応
  ・SECS-I/II、HSMS-SS
  ・GEM
• シナリオエンジン(イベントコントロール)、GUI構築プラットフォームの採用により、ユーザー要求を最小限のカスタマイズで実現可能
• PC使用により、多様なシステム構成への対応が可能
  ・装置組込み型
  ・インライン型(複数装置制御)

機能

通信管理機能

通信パラメータ設定	各プロトコルパラメータの設定
HSMS/SECS通信	SEMI準拠のHSMS/SECS通信機能
PLC通信	各種PLC通信機能 (MELSEC Net、SYMAC Link等)

ログ管理機能

通信履歴	対ホスト／装置／搬送設備間の通信ログ収集・参照
ワーク履歴	基板毎に各装置の結果情報をログ収集
プロセス履歴	各装置毎の基板単位でのプロセスデータをログ収集
アラーム履歴	各設備毎のアラーム発生情報をログ収集
操作履歴	CIM-PCのオペレータ操作情報をログ収集

プロセス管理機能

プロセス情報報告	基板単位でのプロセス情報をホストへ報告 (検査結果を含む)

基板搬送管理機能

カセット入出力管理	カセット毎の入出庫情報をホストへ報告
搬送情報管理	各設備のパラメータ情報を管理
基板トラッキング	各設備毎のアラーム発生情報をログ収集
上下流装置信号処理	上下流装置ユニットアラーム発生・復旧報告
アラーム管理	各設備ユニットアラーム発生・復旧報告
モニタ監視	ポート・カセット情報・基板進捗情報のモニタリング

運用モード管理機能

ホストモード	ホストコントロールモード (ONLINE(Remote/Local)・OFFLINE)管理
インラインモード	インライン設備モード (INLINE・LOCAL)管理

セキュリティ管理機能

パスワード管理	操作ログインによるパスワード管理
操作権限管理	オペレータ操作での作業者権限による制限設定

開発事例

• 液晶製造装置向けCAS(カセットステーション)用SH-CIM

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