ホスト通信機能（SECS-�T/HSMS-SS、SECS-�U）及び、PLC通信機能を実装した半導体製造装置向けSECS通信プラットフォーム

概要

Intesse SHDX5000

RS-232C（PLC通信、SECS-�T/�U）を2ポート、Ethernetインタフェース（SECS-�U、HSMS-SS）を1ポート搭載し、ホスト通信機能（SECS-�T/HSMS-SS、SECS-�U）及び、PLC通信機能を実装した半導体製造装置向けSECS通信プラットフォームです。

システム構成図

Intesse SHDX8000

RS-232C（PLC通信、SECS-�T/�U）とEthernetインタフェース（PLC通信、SECS-�U、HSMS-SS）をそれぞれ2ポート搭載し、ホスト通信機能（SECS-�T/HSMS-SS、SECS-�U）及び、PLC通信機能を実装した半導体製造装置向けSECS通信プラットフォームです。Ethernetインタフェースを2ポート搭載することにより、Ethernet⇔Ethernetでも通信が可能です。

システム構成図

※1　本装置/FromDisk配下のMelTcp.prmファイルの有無で何れか一方での通信を選択できます。
※2　動作モード設定スイッチにより、何れか一方での通信を選択できます。

特長

Intesse SHDX5000/SHDX8000共通

• 32bitCPU＋Windows CE4.1の組込み型ハードウェアシステムにSECS-�T/�U、HSMS-SS及びPLC通信機能を搭載
• 「Intesse SHDX5000/8000シナリオ開発ライブラリキット」を使用することによって、お客様独自のシナリオ処理（WindowsCE実行モジュール）を短期間で開発可能
• バッテリバックアップ機能付RTC（リアルタイムクロック）を搭載

SHDX8000のみ

• LANを使用したPLC通信機能を実現

機能

Intesse SHDX5000/SHDX8000共通

• SECS-�T
  SEMI半導体製造装置通信スタンダード1準拠
• HSMS-SS
  SEMI高速SECSメッセージサービス汎用サービス及びシングルセッションモード準拠
• SECS-�U
  SEMI半導体製造装置通信スタンダード2準拠
  送受信インターリービング（同時オープントランザクションは送受信あわせて8まで）対応
• PLC通信
  三菱電機（株）殿MELSEC通信（制御手順形式1）対応
• シナリオ処理
  お客様からホスト⇔半導体製造装置間のI/F仕様、PLCメモリ割付データをご提供頂くことで弊社にて責任を持ってカスタマイズ致します。
• Intesse SHDX5000/8000シナリオ開発ライブラリキット
  シナリオ開発ライブラリキット（別売）をご購入して頂くことで、お客様が簡単にシナリオを独自に構築することが可能となります。

仕様

製品名		Intesse SHDX5000	Intesse SHDX8000
システムコントロール	CPU	32bit RISC CPU 131MHz
	FLASH ROM	16MB
	SDRAM	64MB
	RTC	バッテリバックアップ機能 カレンダーおよび時計機能 精度 ±20ppm（25℃）
ネットワークインタフェース	ポート数	1ポート	2ポート Ethernetインタフェース-1：ホスト通信（HSMS-SS、SECS-�U）用ポート Ethernetインタフェース-2：TCP接続のPLC通信用ポート
	Ethernet端子	10BASE-T/100BASE-TX（自動切換え）
	コネクタ	RJ-45型
RS-232C	ポート数	2ポート
		RS-232C-1：ホスト通信（SECS-�T/�U）専用ポート
		RS-232C-2：PLC通信専用ポート
	ボーレート	1.2〜115.2Kbps
	通信制御	なし、XON/XOFF、RTS/CTS、DTR/DSR
	コネクタ	D-sub9ピン：オス
マルチブロックサイズ		最大128ブロック	最大512ブロック
メッセージ長		最大32KB	最大128KB
オープントランザクション数		最大8	最大16
ポーリング管理ファイル		最大128件	最大512件
外形寸法		135（W）×30（H）×150±0.5（D） [mm]	135（W：翼を含めると166.6） ×30（H）×150±0.5（D）　[mm]
重量		690±5% [g]	710±5% [g]
定格電圧		AC100-230V±10%
定格電流		0.1A
定格周波数		50/60Hz
環境条件	動作温湿度	0〜40℃/10〜80%RH（結露なきこと）
	保存温湿度	-15〜65℃/10〜85%RH（結露なきこと）
RoHS指令		○
対応規格		VCCI ClassA

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