半導体／液晶製造装置のCIM対応において、デバイスメーカー様との仕様決め、システム開発、 現地試運転までをトータルかつ強力にサポートし、開発期間短縮／トータルコスト削減／相互接続性の向上をご提案いたします。

概要 背景 システム構成例

SEMIスタンダード準拠

ホスト通信に必要なSECS/HSMS/GEMに対応し、カスタマイズも容易に可能

豊富な装置接続I/F

装置I/FはMELSEC（三菱）、SYSMAC（オムロン）の他、弊社標準（TCP/IP）をサポート

充実した製品ラインナップ

用途、機能に応じた豊富な製品ラインナップの提供

短納期・トータルコストの削減

装置依存部分の局所化と汎用化技術により、最小限のコストでホスト接続を可能（標準システムの構築により、装置メーカ様のセカンドユーザー対応コストを大幅に削減）

装置性能の維持

制御と通信機能を分離することにより、相互の負荷による影響を最小限化

メンテナンス性の向上

高度なデータログ分析機能等により、メンテナンス性を向上

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